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掃描電子顯微鏡
產品名稱:日立新型鎢燈絲掃描電鏡FlexSEM 1000
價格: 100萬-150萬
廠家:日本日立
參數:型號:FlexSEM 1000

品牌:日立

產地:日本 

背散射電子圖像分辨率:5.0nm@20KV 二次電子圖象分辨率:4.0nm@20KV 

加速電壓:0.3-20kV 底片倍率:6 – 300,000x 

顯示器倍率:16 – 800,000x 儀器種類:鎢燈絲 


儀器介紹

FlexSEM1000是日立高新公推出的一款機型小巧性能優異的鎢燈絲電鏡,擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設計,配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭,具有卓越的低真空成像能量,并且采用新的SEM MAP高精度導航系統及新全的自動化功能,使性能更加優越,使用更加簡便。


儀器特點

1.節能環保的設計

2.高效率的自動功能

3.簡捷的操作界面

4.高分辨低真空觀察

技術參數

分辨率4.0nm(加速電壓20kV,高真空模式,二次電子像)
 15.0nm(加速電壓1kV,高真空模式,二次電子)
 5.0nm(加速電壓20kV,低真空模式,背散射電子像)
放大倍率底片倍率:6 – 300,000x
 顯示器倍率:16 – 800,000x
加速電壓0.3-20kV
低真空可變壓力范圍6-100Pa
馬達臺標配三軸自動馬達
行程X: 0-40mm
Y: 0-50mm
R: 360 °
Z: 5-15mm
T: -15- 90°
電子光學系統電子槍:預對中鎢燈絲
信號檢測系統:二次電子探測器;高靈敏度背散射探測器
真空系統全自動閥門控制抽真空系統/渦輪分子泵:61L/S 1臺
機械泵:100L/min 1臺
安全裝置:帶停電、漏電保護的真空保護功能
操作輔助功能電子束旋轉;動態聚焦;畫質優化功能
數據輸入;2點間測量、角度測量、文字;預設倍率;
樣品臺位置導航功能(SEM MAP);電子束標記


 
 
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